Bơm chân không khuếch tán

BƠM CHÂN KHÔNG KHUẾCH TÁN ULVAC Bơm chân không khuếch tán là thiết bị được dùng để tạo ra chân không cao ở mức độ trung bình (từ 10-3 - 10-7 Torr). Máy bơm hoạt động dựa trên nguyên lý khuếch tán các phân tử khí nhờ sự hấp phụ của các phân tử dầu bị bay hơi.

Bơm khuếch tán chỉ có thể làm việc khi môi trường đạt độ chân không sơ cấp cần thiết (từ 10-3 đến 10-4 Torr). Để có thể đạt được chân không đó, ban đầu người ta dùng một bơm sơ cấp là bơm chân không cơ học để tạo ra chân không sơ cấp ban đầu. Cấu tạo chính của loại bơm chân không là một buồng đốt nhiều tầng. Người ta sử dụng buồng đốt để đun sôi một loại dầu (gọi là dầu chân không) có nhiệt độ hóa hơi thấp. Các dòng hơi dầu khi bay hơi lên sẽ hấp phụ các phân tử khí khuếch tán từ môi trường cần tạo chân không cao. Sau khi hấp phụ, dầu được làm lạnh và bị rơi xuống, nhả các phân tử khí theo một đường khác (nhờ hệ bơm cơ học đi kèm) và quay trở lại buồng đốt. Bơm chân không khuếch tán có ưu điểm là dễ dàng tạo ra chân không với công suất lớn và tốc độ làm việc nhanh (có thể tới vài chục mét khối trong một giây) và có giá thành thấp- Nhược điềm của bơm khuếch tán là giới hạn làm việc, nó không thể tạo ra các chân không quá lớn (chỉ không quá 10-7 Torr, đạt tới 10-8 Torr là rất khó) và để hoạt động được, nó đòi hỏi lượng nước làm lạnh rất lớn. Các tính năng § Được thiết kế cho áp suất ngược chính lớn § Hiệu suất cực kỳ ổn định tại các áp suất giảm xuống 10-2 Pa (10-4 torr) § Sử dụng các mặt bích ống (ngoại trừ các mặt bích lỗ thông gió trên ULK-04A và 06A) § Các máy bơm có thể được làm sạch dễ dàng (các phần có thể được tháo dễ dàng). § Cùng với cơ cấu ngắt dòng chất lỏng công tác đến bơm phụ. Quy cách kỹ thuật Quy cách kỹ thuật của model ULK-04A ULK-06A Chất lỏng công tác ULVOILD-11 ULVOILD-31 ULVOILD-11 ULVOILD-31 Áp suất cuối cùng Pa <2.6 x 10-5 <2.6 x 10-6 <2.6 x 10-5 <2.6 x 10-6 Áp suất ngược chính Pa 40 60 40 60 Tốc độ hút chân không Lít/giây 550 500 1200 1100 Công suất hút chân không tối đa Pa·m3/s 0.086 0.13 0.15 0.20 Thời gian hởi động vận hành min 9.0 8.5 16.5 15 Công suất cần thiết (*1) KW 0.55 0.73 0.90 1.2 Khối lượng chất ỏng công tác L 0.15 0.15 0.35 0.35 Nước làm mát tốc độ lưu lượng (*2) Lít/phút 1.0 1.0 1.0 1.5 Bơm phụ D-330K, D-240DK, PVD-180 D-950K, D-650K, D-330K, VD-301, VD401 Quy cách kỹ thuật Model ULK-10A ULK-14A Chất lỏng công tác ULVOILD-11 ULVOILD-31 ULVOILD-11 ULVOILD-31 Áp suất cuối cùng Pa <2.6 x 10-5 <2.6 x 10-6 <2.6 x 10-5 <2.6 x 10-6 Áp suất ngược chính Pa 35 40 31 40 Tốc độ hút chân không Lít/giây 3400 3000 5400 4900 Công suất hút chân không tối đa Pa·m3/s 0.35 0.43 0.35 0.47 Thời gian khởi động vận hành min 20 20 24 25 Công suất cần thiết (*1) KW 2.0 2.4 2.25 3.15 Khối lượng chất lỏng công tác L 0.8 0.8 1.5 1.5 Nước làm mát tốc độ lưu lượng (*2) Lít/phút 2.5 3.0 2.5 3.5 Bơm phụ VS1501, PKS-030, PKS-016, EC803 VS1501, VS2401, PKS-030  *1 Xác định nguồn điện áp khi yêu cầu.  *2 Nước làm mát nhiệt độ : 19ºC (ĐẦU VÀO), 29ºC (ĐẦU RA) Quy cách kỹ thuật Model ULK- 04A ULK- 06A ULK- 10A ULK-14A Kích thước bên ngoài A (mm) 175 250 340 340 B (mm) 150 180 240 240 H (mm) 341 449 650 670 Đầu hút Kiểu mặt bích Cỡ VG100 Cỡ VG150 Cỡ VG250 Cỡ VG350 Đường kính ngoài (mm) 185 235 350 450 Lỗ bu lông (số lượng-đường kính) (mm) 8-12 (đường kính) 8-12 (đường kính) 12-15 (đường kính) 12-15 (đường kính) P.C.D (mm) 160 210 320 420 Kích thước miếng đệm lót (mm)(đường kính trong x chiều rộng x chiều sâu) 120 x4 x3 175 x 4 x 3 275 x 7.5 x 4.2 380 x 7.5 x 4.2 Kích thước mếng đệm lót * (mm)(đường kính trong x chiều rộng x chiều sâu) 120 x 4 x 4 175 x 4 x 4 275 x 8 x 8 380 x 8 x 8 Lỗ thông khí Kiểu mặt bích Cỡ VG25 Cỡ VG40 Cỡ VG80 Cỡ VG80 Đường kính ngoài (mm) 90 105 160 160 Lỗ bu lông (số lượng-đường kính)(mm) 4-10 (đường kính) 4-10 (đường kính) 4-12 (đường kính) 4-12 (đường kính) P.C.D (mm) 70 85 135 135 Kích thước miếng đệm lót (mm) (đường kính trong x chiều rộng x chiều sâu) 40 x 5 x 3 55 x 5 x 3 100 x 5 x2.8 100 x 5 x 2.8 Kích thước mếng đệm lót* (mm) (đường kính trong x chiều rộng x chiều sâu) V40 V55 V100 V100 Lỗ ống nước làm mát Rc1/4 (PT1/4) Rc1/4 (PT1/4) Rc3/8 (PT3/8) Rc3/8 (PT3/8) Vật tư Thân bơm SUS Vòi phun Nhôm Phương pháp làm mát Nước được làm mát bằng ống xoắn Đồng hồ đo mức dầu No No Chọn thêm Có Trọng lượng (kg) 7.5 13.5 47 56 Kích thước đóng gói (Cao x Sâu x Rộng) (mm) 550 x 330 x 400 580 x 420 x 580 730 x 550 x 700 750 x 550 x 700 Trọng lượng đóng gói (kg) 10.5 17.5 54 64 * Đầu hút/các miếng đệm lỗ thông khí NBR được cung cấp như phụ kiện tiêu chuẩn. Nếu các áp suất dưới 10-5 Pa (10-7 torr) là cần thiết, cần xác định các miếng đệm cao su huỳnh quang.